世纪晶源高敬德,化合物半导体产业是正在迅速发展的高科技新兴产业,这一新兴产业正带动着微波通信、移动通信、半导体照明、光通信、光存储、能量光电子、汽车以及家电消费光电子等产业的蓬勃发展。它对于科技、能源、国防和经济发展的重要性和紧迫性,已引起世界各国特别是发达国家和地区的高度重视,我国政府、科技界和企业界也对此极为关注。世纪晶源 世纪晶源高敬德,半导体是导电性能介于导体(如金属)与绝缘体(如陶瓷)之间的一种材料。半导体技术虽然己有50多年的发展历史,但在未来20年的发展中,仍然生机勃勃,支撑着信息{词语被屏蔽}的进一步发展,为各国所关注。世纪晶源 第一代半导体是“元素半导体”,典型如硅基和锗基半导体。其中以硅基半导体技术较成熟,应用也较广,一般用硅基半导体来代替元素半导体的名称。硅基半导体器件的频率只能做到10GHz,硅基半导体集成电路芯片最小设计线宽己经达到0.13μm,到2015年,最小线宽将达到0.07μm。 第二代半导体材料是化合物半导体。化合物半导体是以砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)和氮化镓(GaN)等为代表,包括许多其它III-V族化合物半导体。其中以砷化镓技术较成熟,应用也较广。世纪晶源 化合物半导体不同於硅半导体的性质主要有二: 一是化合物半导体的电子迁移率较硅半导体快许多,因此适用于高频传输,在无线电通讯如手机、基地台、无线区域网络、卫星通讯、卫星定位等皆有应用;二是化合物半导体具有直接带隙,这是和硅半导体所不同的,因此化合物半导体可适用发光领域,如发光二极管(LED)、激光二极管(LD)、光接收器(PIN)及太阳能电池等产品。可用于制造超高速集成电路、微波器件、激光器、光电以及抗辐射、耐高温等器件,对国防、航天和高技术研究具有重要意义。世纪晶源 目前化合物半导体器件工作频率已经达到 100GHz,线宽达到亚微米,并带动了异质结技术的发展,使之成为微波/毫米波的主流。通过进一步的努力,化合物半导体器件的工作频率将可以得到进一步提高。 通过反应炉的应用和高度的自动化,实现了外延工艺的改进,从而提高了化合物半导体的产量和经济效益。 世纪晶源 化合物半导体产业在当前主要是指砷化镓(族)外延磊晶片生长和IC芯片集成,氮化镓(族)半导体照明LED和砷化镓(族)光储存LD外延磊晶片生长、芯片制作以及封装、模块的生产运营,同时还包括与之相关的广泛的应用产业。 磊晶、芯片是化合物半导体产品的上游产业,主要是采用 MBE和MOCVD 技术生长的化合物半导体外延片,和经过制作而成的芯片。 器件是化合物半导体产品的中游产业,典型产品包括激光二极管、半导体发光二极管、探测器件、微波器件、开关元件、功率器件等等,器件封装和组装是关键技术。世纪晶源 应用模块与整机是化合物半导体产品的下游产业,典型产品包括光收发模块、微波通信产品、半导体照明产品、光存储产品、光显示产品等等。 3 J/ \* \3 R; H8 a# U; ^
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